安徽省印发《重点领域补短板产品和关键技术攻关任务揭榜工作方案》,5nm计算光刻国产化位列其中


具体研究内容包括:计算光刻EDA软件,提供高度智能化、自动化的EDA仿真软件,含OPC和SMO两大核心技术,同时将版图到掩膜版数据转换的全流程囊括其中,增加工艺探索、建模、图形验证、图形校正、数据准备5大模块。

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