国产高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速

从中国电子科技集团有限公司获悉，由该集团旗下装备子集团自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速，性能达到国际先进水平。据介绍，离子注入机是芯片制造中的关键装备。高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型。长久以来，因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒，被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”，是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。（新华社）